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氣體質量流量計/ 流量控制器
氣體質量流量計 Series GFM 13-74
數位輸出氣體質量流量計(瞬間/總量) Series DPM 13-76
數位輸出氣體質量流量計 Series DFM 13-77

製程用線上型氣體質量流量計 (分離型)

Series 8000MPNH 13-78

製程用插入式氣體質量流量計 (分離型)

Series 8200MPNH 13-79

製程用線上型氣體質量流量計 (一體型)

Series 8600MPNH 13-80

製程用插入式氣體質量流量計(一體型)

Series 8800MPNH 13-81

製程用防爆線上型氣體質量流量計(分離型)

Series 8000MP 13-82

製程用防爆插入式氣體質量流量計(分離型)

Series 8200MP 13-83

製程用防爆線上型氣體質量流量計(一體型)

Series 8600MP 13-84

製程用防爆插入式氣體質量流量計(一體型)

Series 8800MP 13-85
氣體質量流量控制器 Series GFC 13-86
氣體質量流量計/控制器 (配件) TIO 13-87
數位氣體質量流量控制器(直接面板控制) Series DPC 13-88
數位氣體質量流量控制器 Series DFC 13-89

氣體質量流量控制器

Series 5800 13-90

氣體質量流量控制器

遠端控制器

 MFR 13-91

氣體質量流量控制器

遠端控制器

 PC510/PC540 13-91a